現有技術中，選用不同的質量流量控制器對氣體流量進行控制，通過控制不同通道的體積流量，達到對氣體標準物質的定量稀釋，從而實現將高濃度的氣體稀釋為不同低濃度氣體的目的。現有的氣體稀釋處理方式，其響應速度慢，且流量控制誤差大。

　　氣體稀釋儀的作用是將一種氣體按照一定比例進行稀釋輸出，依據稀釋比例的不同，可以選擇稀釋輸出或二級稀釋輸出。同時裝置本身還安裝有機械泵的抽氣口，可以利用機械泵對系統內部進行抽氣。在控制方面，可有三種方式供用戶選擇：

　　1、自動模式

　　自動模式下，裝置依據要求進行自行供氣及稀釋后的氣體輸出，操作者無需進行操作。

　　2、手動模式

　　手動模式下，裝置的所有操作均需操作者手動控制輸出。

　　3、計算機控制模式

　　計算機控制模式，將隨機配備的光盤中的多路操作軟件安裝至計算機，將數據線一端與設備后端RS485接口連接，將數據線另一端與計算機RS485接口連接（如計算機接口為RS232接口，可使用隨機配送的RS232-RS485轉換接頭）。注意若采用此種模式，應先將質量流量控制器的控制模式選為“數字”。

　　氣體稀釋儀基于質量流量控制器，采用閉環模糊控制技術，按照預設鋼瓶氣比例，控制至少一路鋼瓶氣管道輸出與該鋼瓶氣相匹配的預設比例流量的鋼瓶氣；按照預設零氣比例，控制輸出預設零氣比例流量的零氣；將輸出的所述鋼瓶氣與零氣進行混合后輸出；達到了氣體動態稀釋并配置出所需濃度的目標氣體的目的，提高了響應速度和氣體流量控制的準確率。